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坐落于中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所，與德國及韓國相關(guān)企業(yè)合作，主要致力于研發(fā)及生產(chǎn)各種系列的廢氣凈化材料及尾氣處理設(shè)備，在國內(nèi)擁有獨(dú)立的知識產(chǎn)權(quán)，并擁有先進(jìn)的吸附劑測試平臺，目前已經(jīng)在半導(dǎo)體芯片制造、LED、FPD、Solar以及各科學(xué)研究所得到廣泛應(yīng)用。
我司有各類專業(yè)吸附劑，吸附劑也稱吸收劑，氣體吸附分離成功與否，極大程度上依賴于吸附劑的性能，因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
一想到半導(dǎo)體行業(yè)，大家想到的是機(jī)械生產(chǎn)，材料，電子電器，與污染兩個字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)物和無機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過尾氣處理設(shè)備對廢氣尾氣加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備，干式等
該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ，半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。