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大平臺(tái)顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L，透反射照明型顯微鏡是OLYMPUS MX61型號(hào)的升級(jí)版本，L即為長(zhǎng)工作距離，適用大300mm的樣本，大平臺(tái)的顯微鏡。
能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）
應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀(guān)察到熒光觀(guān)察的多種觀(guān)察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
大平臺(tái)顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件 MX-AF透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀(guān)察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀(guān)察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦，甚至觀(guān)察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀(guān)察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀(guān)察方式共聚焦附件 U-CFU熒光分光鏡模塊共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.18μm,并可對(duì)多層線(xiàn)條的器件分層對(duì)焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。
備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查 近紅外線(xiàn)觀(guān)察附件MX61/MX61L標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線(xiàn)上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專(zhuān)門(mén)的紅外物鏡等附件，對(duì)從可見(jiàn)光到近紅外波段光線(xiàn)的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查。
