產(chǎn)品簡(jiǎn)介
采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法,測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響,這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的?;谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用,以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來(lái)進(jìn)行高精度的測(cè)量..
詳細(xì)介紹
品牌:產(chǎn)地:日本 非接觸式深度測(cè)量工具顯微鏡 UNION顯微鏡 UNION測(cè)量顯微鏡
Z軸測(cè)量誤差:1微米 (40×) 讀數(shù)精度0.1微米
日本雙面儀UnionDH2-AM 高精度非接觸深度測(cè)量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法,測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響,這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的?;谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用,以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來(lái)進(jìn)行高精度的測(cè)量..
功能:
非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過(guò)高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和精確的聚焦指示器完成高精確的測(cè)量
◎ 簡(jiǎn)單的操作
◎ Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)μm 到25mm
◎ 同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測(cè)量顯微鏡,X、Y工作臺(tái)行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的精度,Z軸對(duì)焦采用一光學(xué)“裂像指示器”,結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌,可測(cè)范圍25 mm,測(cè)量誤差1μm
技術(shù)規(guī)格
型號(hào):DHII
工作臺(tái)行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測(cè)量范圍:25mm/25mm/25mm
三軸分解度:0.001mm
標(biāo)準(zhǔn)目鏡:10X
標(biāo)準(zhǔn)物鏡:10X
物鏡:
5倍,10倍,20倍,50倍
選配: 100×