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產(chǎn)品介紹：

名    稱(chēng)：勻膠顯影機(jī)

型    號(hào)：SC100-DE

原產(chǎn)地：

應(yīng)    用：SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述：

SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類(lèi)產(chǎn)品中大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能參數(shù)：

l 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l 旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可達(dá)到到0.1秒

l 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）

l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

l 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）

l 標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級(jí)，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋

l  全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果

l  可實(shí)現(xiàn)多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?/span>

l  控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作，使用更加方便

l  顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置

l  提供客戶(hù)定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)

l  高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選

l  可添加去邊膠和背膠清洗功能

產(chǎn)品外型尺寸：

      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)

咨詢(xún)或索取詳細(xì)產(chǎn)品資料，請(qǐng)聯(lián)系ANALYSIS（安賽斯）工作人員。

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