Evident向基于顯微鏡的成像系統(tǒng)制造商供應超多規(guī)格的物鏡以及其他光學部件，為設備和儀器設計者提供支持。這些組件能幫助工程師們輕松有效地設計高質(zhì)量的光學檢測設備。
此類設計方案的一個重要組成部分是主動式自動對焦技術(shù)。當該技術(shù)與顯微鏡的電動Z軸——機械裝置、照明系統(tǒng)、物鏡和/或數(shù)碼相機結(jié)合使用時，便可實現(xiàn)自動對焦。這些裝置使用主動式方法對焦樣本，讓光學檢測系統(tǒng)設計受益良多。
這篇文章將深入探討主動式自動對焦方法——了解它是什么，比較它與其他方法的優(yōu)劣，并探究它對于光學檢測設備設計（如半導體檢測）的主要優(yōu)勢。
顯微鏡的自動對焦方法對比：主動式與被動式
圖2. 半導體樣本聚焦不穩(wěn)定的原因：(左）焦點位置的變化和（右）階梯邊緣的散射
為了解決這些問題，我們開發(fā)了一種使用多個焦點檢測點的主動式自動對焦系統(tǒng)（圖3，右）。我們還增添了一個功能，通過移動自動對焦光學系統(tǒng)的中繼鏡的光軸，將焦點位置偏移到所需的觀察位置。這就消除了焦點不穩(wěn)定的問題（圖4和圖5）。
圖3. 樣本表面對焦檢測點對比：（左）單點自動對焦系統(tǒng)，（右）多點自動對焦系統(tǒng)
圖4. 焦點位置偏移功能
(a) 在單點系統(tǒng)中，將樣本移到一側(cè)會移動焦點位置
(b) 在多點系統(tǒng)中，將同一樣本移到一側(cè)不會改變焦點位置
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