電動物鏡轉盤
清潔度是半導體、FPD 和 OLED 制造行業(yè)的檢查人員很關心的問題,這一點關系到是否可以生產出功能正常的產品。因此,應將檢測設備用于受控環(huán)境,如潔凈室。不允許灰塵從物鏡轉盤落到樣品上,如半導體晶圓。即使是微小的灰塵也會污染晶圓,破壞其功能,進而影響產品產量。
我們帶真空功能的電動物鏡轉盤 (U-D5BDREMC-VA) 使用負壓吸力,可減少物鏡轉盤旋轉時落下的細粒數量,并捕獲潤滑系統(tǒng)所用潤滑脂產生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉盤成為受控潔凈室環(huán)境的理想選擇。物鏡轉盤可用作半導體和FPD檢測設備的內置顯微鏡模塊。
用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉盤
我們提供各種物鏡轉盤,這些物鏡轉盤可集成到檢測、生產和研究領域的系統(tǒng)中。我們的選擇包含手動和電動選項。
手動物鏡轉盤:該產品系列可以支持諸如明場、暗場和微分干涉對比 (DIC) 等觀測方法,可以容納四至七個物鏡,滿足 ESD 規(guī)范等。
帶編碼功能的物鏡轉盤:這種類型的手動物鏡轉盤可以檢測轉盤的物鏡安裝孔位置。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉盤上的位置相匹配,使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中,同時降低手動數據輸入錯誤的風險。
電動物鏡轉盤:這種類型的物鏡轉盤可以通過電動方式移動五個或六個物鏡。帶有真空功能的電動物鏡轉盤同樣已經推出。
帶對中功能的物鏡轉盤:這種類型的物鏡轉盤可讓您通過手動或電動方式將物鏡的光軸對中。這樣可以改變物鏡轉盤的孔位置,以便針對每個物鏡的細微移動進行調整。最終將所有安裝的物鏡對準。經過調整,您會發(fā)現更換物鏡前后,中心位置是相同的。
物鏡支架轉接器:這款轉接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個物鏡。如果您的應用不需要多個物鏡,那這是一種經濟實惠的選擇。請注意,這款轉接器(適配器)僅配備 RMS 螺絲 W26,并且沒有用于暗場照明的光路。
您只需將一個物鏡連接到支持多個物鏡的系統(tǒng),物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實現了靈活性。左側:使用物鏡適配器連接了一個物鏡。中間:連接轉盤前。右側:使用物鏡轉盤連接了多個物鏡。
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