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Filmetrics 膜厚測(cè)量?jī)x自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠 F60 的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。 在約 45 秒的時(shí)間就可以掃描完標(biāo)準(zhǔn) 49 點(diǎn)分布圖

Filmetrics F60-t 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x

 

Filmetrics 優(yōu)勢(shì)
嵌入式在線診斷
免費(fèi)離線分析軟件
精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效的存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)量結(jié)果

免費(fèi)現(xiàn)場(chǎng)演示/支持
點(diǎn)幾下鼠標(biāo)就可以在網(wǎng)絡(luò)上在線看到現(xiàn)場(chǎng)演示！請(qǐng)，我們的應(yīng)用工程師會(huì)在電腦上為您演示薄膜測(cè)量是多么容易！

自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠 F60 的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰?/span>測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖伲蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。 在約 45 秒的時(shí)間就可以掃描完標(biāo)準(zhǔn) 49 點(diǎn)分布圖

 

可測(cè)樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。例如：
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅

相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
光刻膠  氧化物  氮化物

光學(xué)鍍膜
硬涂層 抗反射涂層 濾光片

液晶顯示器
盒厚 聚酰亞胺 ITO

生物醫(yī)學(xué)
聚對(duì)二甲苯 生物膜 硝化纖維

 

 

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