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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
| 原子層沉積的優(yōu)點
| 周期 |
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| 1. TMA源 | |
| 遠程等離子體的優(yōu)點 除了具有熱的優(yōu)點，遠程等離子體允許更廣泛地選擇用作源的化學品，同時還提高薄膜質(zhì)量:
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| 2. TMA清洗 | |
| 的應用 包括:
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| 3. O2等離子體 | |
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| 4.短時間的后期O2等離子體清洗 |
牛津儀器的工具
| 特征 | OpAL™ | FlexAL ® |
| 襯底 | zui大到200mm直徑晶片，小片可直接裝載 | zui大到200mm直徑晶片，小片需放置在一塊載片板上 |
| 鼓泡的液體和固體源 | zui多3個 | zui多4個 |
| zui高的源溫度 | 200oC（外套） | 200oC（烘箱和外套） |
| 晶片傳送（包括源坩堝） | 包括 | 包括 |
| 具有快速傳送系統(tǒng)的質(zhì)量流量計控制的氣體管線 | 內(nèi)部2個，外部zui多8個安裝好的氣箱 | 外部zui多8個安裝好的氣箱 |
| 等離子體 | 配件/現(xiàn)場升級 | 配件 |
| 進樣 | 開放進樣 | 真空進樣室或進樣盒 |
| 和其他工藝模塊的聯(lián)接 | 不能 | 可以-包括作為特殊配件的第三方MESC模塊 |
| 載片臺的溫度范圍 | 25ºC – 400ºC | 25ºC – 400ºC （550ºC 可選備件） |
| 橢偏儀端口 | 有 | 有 |
| Swagelok10毫秒快速脈沖閥 | 有 | 有 |
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復合氣體檢測儀 現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀
TN3紅外測溫儀 fluke 59mini紅外測溫儀 照度計 CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計 FD216測氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計
HGY2018在線PH計 RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測量儀 DO200在線溶解氧測定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測儀 3M6800防毒面罩 美國華瑞PGM-2400 四合一復合式氣體檢測儀 YSI3100 電導率儀 HT10S煙氣黑度照相測定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測儀 AD102農(nóng)藥檢測卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計
PRM-3040射線檢測儀 美國MSA 10108311歐特防護眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計 GM1357聲級計
PGM-7840復合氣體檢測儀 GDYS-102SJ尿素測定儀 GDYS-101ST鐵測定儀
GDYS-101SC2臭氧測定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測定儀 D3A激光測距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復合氣體檢測儀 PGM-6208 6合一氣體檢測儀 FGM-1100 IR 可燃氣在線監(jiān)測儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃氣體報警儀
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