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射頻驅(qū)動(兆赫茲和/或千赫茲)的頂電極；底(襯底)電極上沒有射頻偏壓
襯底直接置于加熱電極上
氣體通過頂電極上的噴淋頭式進(jìn)氣口進(jìn)入反應(yīng)室
工作壓強0.5-1.0托
功率密度0.02-0.1Wcm-2
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
Benefits 優(yōu)點
- 和傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積相比工藝溫度更低
- 通過高/低頻混合技術(shù)可以控制薄膜應(yīng)力
- 具有結(jié)束點控制的等離子體干法清洗工藝減少或杜絕了物理/化學(xué)清洗反應(yīng)室的需要
- 通過工藝條件來控制化學(xué)計量
- 提供廣泛的材料沉積，包括：氧化硅、氮化硅和氮氧化硅的沉積，它們廣泛應(yīng)用于光子結(jié)構(gòu)、鈍化、硬膜等。
- 非晶硅（a-Si：H）
- 具有保形臺階覆蓋或無空隙良好臺階覆蓋的正硅酸乙酯二氧化硅
- SiC 碳化硅
- 類金剛石膜
牛津儀器的PECVD工具
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復(fù)合氣體檢測儀 現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀
TN3紅外測溫儀 fluke 59mini紅外測溫儀 照度計 CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計 FD216測氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計
HGY2018在線PH計 RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測量儀 DO200在線溶解氧測定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測儀 3M6800防毒面罩 美國華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測儀 YSI3100 電導(dǎo)率儀 HT10S煙氣黑度照相測定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測儀 AD102農(nóng)藥檢測卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計
PRM-3040射線檢測儀 美國MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計 GM1357聲級計
PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀 GDYS-102SJ尿素測定儀 GDYS-101ST鐵測定儀
GDYS-101SC2臭氧測定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測定儀 D3A激光測距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀 PGM-6208 6合一氣體檢測儀 FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃?xì)怏w報警儀
| 特征 | Plasmalab System80Plus | Plasmalab System800Plus | Plasmalab System100 | Plasmalab System133 |
| 電極尺寸 | 240mm | 460mm | 240mm | 330mm |
| 進(jìn)樣方式 | 開放進(jìn)樣 | 開放進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 |
| 襯底 | 見產(chǎn)品手冊 | 見產(chǎn)品手冊 | 8英寸，可以選擇多片或小片的載片臺 | 12英寸，可以選擇多片或小片的載片臺 |
| 摻雜劑 | 不行 | 不行 | 包括PH3，B2H6和GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑 | 包括PH3，B2H6和GeH4在內(nèi)的多種摻雜劑 |
| 液體源 | 不行 | 不行 | 可以，正硅酸乙酯 | 可以，正硅酸乙酯 |
| 質(zhì)量流量計控制的氣體管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 | 可使用8或12根管線 |
| 用于應(yīng)力控制的射頻轉(zhuǎn)換開關(guān) | 可以 | 可以 | 可以 | 可以 |
| 載片臺溫度范圍 | 20°C 到400°C | 20°C 到400°C | 標(biāo)準(zhǔn)的是20°C 到400°C，可選zui高到800°C | 標(biāo)準(zhǔn)的是20°C 到400°C，可選zui高到700°C |
| 在位等離子體清洗 | 可以 |
| 可以，結(jié)束點可控以獲得*清洗時間 | 可以，結(jié)束點可控以獲得*清洗時間 |
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