ICP 感應(yīng)耦合等離子體反應(yīng)室示意圖

感應(yīng)耦合等離子體（ICP）相關(guān)產(chǎn)品

主要特點(diǎn)：

• 分開的感應(yīng)耦合等離子體的射頻發(fā)生器和電極的射頻發(fā)生器提供了對(duì)離子能量和離子密度的分別控制
• 高傳導(dǎo)率的氣泵端口為zui快的刻蝕速率提供高的氣量
• 靜電屏消除了電容耦合，減小了對(duì)器件的電損傷，減少了反應(yīng)室的顆粒
• 牛津儀器的ICP工具包括標(biāo)配的晶片夾具和氦氣冷卻，在一個(gè)廣泛、可選的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)異的溫度控制

ICP優(yōu)點(diǎn)：

• 通過高的離子密度（>1011 cm3）和高的基團(tuán)密度可以獲得高的刻蝕速率
• 通過低的離子能量能夠獲得對(duì)選擇比和損傷的控制
• 對(duì)感應(yīng)耦合等離子體和電極射頻的分別控制提供了高的工藝靈活性
• 化學(xué)的和離子誘導(dǎo)的刻蝕
• 為了某些低刻蝕速率的應(yīng)用，也可以以感應(yīng)離子刻蝕的模式運(yùn)行
• 可以用于以感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積模式進(jìn)行沉積，提供：
  - 比等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的溫度低的條件下沉積致密的薄膜
  - 在溫度敏感的襯底上進(jìn)行低損傷的沉積

本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品

MX6復(fù)合氣體檢測儀    現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀

TN3紅外測溫儀     fluke 59mini紅外測溫儀   照度計(jì) CENTER337   tx2000 h2氫氣檢測儀   HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑    HI93735-01總硬度配套試劑

3011食品中心溫度計(jì)  FD216測氡儀土壤取樣器  HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)

HGY2018在線PH計(jì)   RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器  AR3130電子天平   SA1200（P）空氣消毒機(jī)

YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測量儀  DO200在線溶解氧測定儀   YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測儀  3M6800防毒面罩  美國華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測儀  YSI3100 電導(dǎo)率儀   HT10S煙氣黑度照相測定儀  正壓式空氣呼吸器   COD-571-1型消解裝置

PPMhtv甲醛檢測儀  AD102農(nóng)藥檢測卡  DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)   

PRM-3040射線檢測儀  美國MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡   PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀   MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報(bào)警儀    MIC-500-CH4O 甲醇探測器

YSI 550A型便攜式溶氧儀  TES-1360A溫濕度計(jì)   GM1357聲級(jí)計(jì)

PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀   GDYS-102SJ尿素測定儀   GDYS-101ST鐵測定儀

GDYS-101SC2臭氧測定儀   GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）

GDYS-101SC2臭氧測定儀  D3A激光測距儀

本月*產(chǎn)品

現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀  M40硫化氫傳感器  PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀   PGM-6208 6合一氣體檢測儀   FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測儀

PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀   FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀

M40一氧化碳傳感器     M40氧氣傳感器   PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀