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當前位置:> 供求商機> EVG 720 納米壓印-EVG 720 自動化SmartNIL UV納米壓印光刻
EVG®720 自動化SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)
具有EVG專有的SmartNIL®技術的自動全場UV納米壓印解決方案(大150毫米)
技術數(shù)據(jù)
EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術和材料專業(yè)知識,能夠大規(guī)模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結構,具有的吞吐量,非常適合批量生產(chǎn)下一代微流體和光子器件,例如衍射光學元件( DOEs)。 *分辨率取決于過程和模板
特征
體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度
專有的SmartNIL®技術和多次使用的聚合物印模技術
集成式壓印,UV固化脫模和工作印模制造
盒帶到盒帶自動處理以及半自動R&D模式
可選的頂部對齊
可選的迷你環(huán)境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺
從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性
系統(tǒng)外殼,可實現(xiàn)佳過程穩(wěn)定性和可靠性
EVG720技術數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸)75至150毫米
解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL®
曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm²
對準:可選的頂部對齊
自動分離:支持的
迷你環(huán)境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持
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