小型化與高精度
工業(yè)生產(chǎn)中的零部件日趨小型化，同時對測量精度的要求也在不斷提高，MICURA正是針對這一全新需求定制的解決方案。MICURA采用蔡司VAST XT gold掃描探頭與navigator技術, 可在主動式掃描時獲得微米級的測量精度。它尤其適于測量用于光學和電子產(chǎn)品的結構復雜的小型工件。盡管采用緊湊型設計，系統(tǒng)卻具備500 x 500 x 500毫米的測量能力——性能遠超同類產(chǎn)品。
的高速掃描
蔡司VAST XT gold探頭具有高速掃描功能，除可在極短時間測定幾何特征外，還可測量及評定形狀誤差如圓度、平面度等特性。探針小直徑僅為0.3毫米。
極速掃描：VAST navigator
PRISMO navigator可極速獲取為的測量結果。navigator技術是為蔡司所研發(fā)的高速高精度掃描技術。智能優(yōu)化參數(shù)設定以確保測量的度。得益于切線逼近掃描、螺旋掃描和測針快速動態(tài)校準等功能，可進一步縮短測量時間。
自0.7 + L/400 μm起
測量范圍
| X | Y | Z | |
| 5/5/5 | 500 | 500 | 500 |
計算機輔助精度修正（CAA)
PRISMO navigator可實現(xiàn)對測量機動態(tài)誤差的有效補償，從而確保即便于高速掃描過程中仍可獲得理想的測量精度。
操作與人體工學
全新設計控制面板，配備LCD顯示屏及雙手柄控制面板，使用方便快捷。
成熟的設計
典型應用
儀器參數(shù) | ZEISS MICURA |
外形尺寸（mm） | 1295*1245*2600 |
測量范圍（mm） | 500*500*500 |
測量精度（μm） | 0.7+L/400 *起 |
工作模式 | 機動/自動 |
長度測量系統(tǒng) | 玻璃陶瓷光柵尺 |
探頭系列 | 基于VAST及Navigator掃描技術的主動式三維連續(xù)掃描系統(tǒng) |
軟件 | CALYPSO |
配套 | 溫度補償系統(tǒng)、主動減震系統(tǒng)，可選探針庫位架 |
工作電源 | 100-240V（±10%），50-60Hz（±3.5%） |
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