此款小型離子濺射鍍膜儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合SEM 制樣*的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時，配有進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

此款小型離子濺射鍍膜儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡單方便，是配合SEM 制樣*的儀器。設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時，配有進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

鍍膜儀主要特點(diǎn)：

• 顯示操作面為60°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

• 真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

• 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識；

• 真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

• 控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

• 顯示控制操作部分布局合理，位于同側(cè)，使用方便；

• 結(jié)構(gòu)簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；

技術(shù)參數(shù)：

1. 玻璃處理室：Φ108mm,高度135mm;

2. 試樣臺尺寸：Φ40mm,可同時放6個樣品杯；

3. 金靶尺寸：Φ57mm;

4. 真空系統(tǒng)：靜音直聯(lián)旋片真空泵2L/S；

5. 真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；

6. 真空保護(hù)：20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；

7. 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣節(jié)。