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英格海德分析技術(shù)有限公司

當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> HPR-80-活潑性/腐蝕性氣體分析儀

[供應(yīng)]HPR-80-活潑性/腐蝕性氣體分析儀

產(chǎn)地:英國(guó)Hiden公司

更新時(shí)間:2024-09-06 21:00:07

有效期:2024年9月6日 -- 2025年3月6日

已獲點(diǎn)擊:193

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HPR-80是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過(guò)程研究而設(shè)計(jì)的儀器??煽焖佟⒍糠治龌顫娦?、腐蝕性氣體混合物。

應(yīng)用:
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過(guò)程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究

特點(diǎn):
• 加熱的電拋光波紋管,快速偶合連結(jié)器
• 可清除的,帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì),壓力檢測(cè)可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演,歸一化及單峰參考
 

應(yīng)用:
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過(guò)程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究

特點(diǎn):
• 加熱的電拋光波紋管,快速偶合連結(jié)器
• 可清除的,帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì),壓力檢測(cè)可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演,歸一化及單峰參考
 

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