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 Linetech質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

 Linetech質(zhì)量流量計(jì)主要參數(shù)：

流量范圍：               0.005-1000(slpm)

響應(yīng)時(shí)間：               ≤2

精    度：               ≤1%或0.2%

重 復(fù) 性：               ±0.25

輸出信號(hào)：               0-5vdc或4-20mA

供電電壓：               15-28vdc

溫度范圍：               0-50℃