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一、氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

操作簡單

氣體質(zhì)量流量控制器作為一個獨立設(shè)備，帶有多功能數(shù)字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調(diào)節(jié)參數(shù)，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。

測量精確

的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運營的成本，且相比與同類產(chǎn)品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中，而不是停留在測量儀器中。除質(zhì)量流量外，M系列質(zhì)量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

質(zhì)量流量控制器可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數(shù)字信號輸出。該系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設(shè)備。

反應靈敏

10毫秒典型反應時間，意味著Alicat 質(zhì)量流量計的響應速度比您的眨眼速度至少快兩倍。

體積嬌小

Alicat差壓式氣體質(zhì)量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統(tǒng)中或作為一款單獨的校準設(shè)備隨身攜帶。

高重復性

Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質(zhì)量流量計的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現(xiàn)有超過90000臺Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中，如：科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準證書。

二、質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品性能

標準性能
? 多功能數(shù)字顯示屏
? 顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
? 低壓損
? 無需預熱
? Viton密封
? 8針mini-DIN電信號接口
? 標準圓形電源接口
? RS-232多點式數(shù)字輸出
? 0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
? 內(nèi)置30種氣體可選
? 200:1量程可調(diào)比
? NPT接頭
? 可測量從0.5SCCM到4000SLPM的滿量程的任何流量
? 有條件的終身質(zhì)保
可選性能
? 高精度
? 累加器
? 6針、DB9或DB15電信號接口
? ProfiBUS數(shù)字信號輸出
? RS-485數(shù)字信號輸出
? 4-20mA模擬信號輸出
? 第二種模擬信號輸出
? TFT背光彩色顯示屏
? 遠程顯示屏
? 遠程TFT背光彩色顯示屏
? 丙烯酸絕緣涂層
? EPDM密封
? NeSSI本體
? 氧氣清潔
? 用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
? SAE接頭
? VCR, VCO接頭
? 5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
? 雙向流動
? 額外標定點
? 定制混個氣體（多4種）
? 定制流量范圍 

三、質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)