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D07-19C型-D07-19C型質(zhì)量流量控制器
  • D07-19C型-D07-19C型質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2023-04-07 05:58:01

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質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

 

 

D07-19C型質(zhì)量流量控制器(D07-19C Mass Flow Controller)

便攜式氣體檢測(cè)儀

 

水質(zhì)檢測(cè)儀

 

標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa

輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0~+5.00V



技術(shù)參數(shù):

 

滿量程流量范圍(N2

5SCCM30SLM

控制范圍

2100F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

≤10SLM

±1F.S.

10SLM

±2F.S.

線性

≤10SLM

±0.51F.S.

10SLM

±2F.S.

重復(fù)精度

±0.2F.S.

溫度系數(shù)

Zero:±0.1%F.S./

Span:±0.2%F.S./

響應(yīng)時(shí)間

1sec

工作溫度范圍

545

工作壓差

≤10SLM

0.10.5MPa

10SLM

0.10.3MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠

接頭選擇

VCR

1/4”φ4hose、φ6hose

Swagelok

1/8”1/4”φ3、φ6mm

電插頭形式

DB15 pin(Male)

抗電磁干擾

CE

重量

1.2Kg

 

 

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