EDI超純水設(shè)備在電子半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)。高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,高純水的電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別:Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí),該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。電阻分別對(duì)應(yīng)為:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有:1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平; 3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。
超純水在電子元器件生產(chǎn)中的重要作用日益突出,超純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一,水質(zhì)要求也是越來越高。
在電子元器件的生產(chǎn)過程當(dāng)中,超純水主要用作清洗用水以及用來配制各種溶液、漿料,不同的電子元器件在生產(chǎn)過程中純水的用途及對(duì)水質(zhì)的要求也略有不同。因此電子行業(yè)的生產(chǎn)用水離不開EDI超純水設(shè)備,這也是電子行業(yè)為啥為用EDI超純水設(shè)備的原因。