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振動(dòng)監(jiān)控應(yīng)用中的MEMS技術(shù)
MEMS慣性傳感器在當(dāng)今的眾多個(gè)人電子設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、強(qiáng)大功能性和性能，這些因素促使著智能手機(jī)、游戲控制器、活動(dòng)跟蹤器、數(shù)碼相框等裝置不斷創(chuàng)新。 此外，MEMS慣性傳感器用于汽車安全系統(tǒng)可顯著提高系統(tǒng)可靠性，并降低系統(tǒng)成本，使汽車安全系統(tǒng)能夠應(yīng)用于大多數(shù)汽車。
功能集成度和性能的不斷發(fā)展也有助于將MEMS加速度計(jì)和陀螺儀應(yīng)用于許多不同的工業(yè)系統(tǒng)。 其中一些應(yīng)用成為現(xiàn)有產(chǎn)品和服務(wù)的低成本替代品，而其他應(yīng)用則開始集成慣性感測(cè)功能。 作為擁有兩類用戶的應(yīng)用，振動(dòng)監(jiān)控也正方興未艾。 出于維護(hù)和安全需求而用于監(jiān)控機(jī)械健康狀況的傳統(tǒng)儀器儀表通常采用壓電技術(shù)。 高速自動(dòng)化設(shè)備對(duì)振動(dòng)進(jìn)行監(jiān)控，以觸發(fā)對(duì)潤(rùn)滑、速度或皮帶張力的反饋控制，或者關(guān)閉設(shè)備以便于維修人員快速檢查。
盡管壓電器件擁有成熟的用戶群，但MEMS加速度計(jì)為新興的用戶群提供了輕松集成、降低成本等優(yōu)勢(shì)。 另外，MEMS加速度計(jì)*的功能集成允許在ADIS16229數(shù)字MEMS振動(dòng)傳感器等器件中集成嵌入式RF收發(fā)器，從而實(shí)現(xiàn)一種集信號(hào)處理和通信功能于一體的完整解決方案。 此類可編程器件可以定期自動(dòng)喚醒，捕獲時(shí)域振動(dòng)數(shù)據(jù)，對(duì)數(shù)據(jù)記錄執(zhí)行快速傅里葉變換(FFT)，對(duì)FFT結(jié)果進(jìn)行用戶可配置的頻譜分析，通過的無(wú)線傳輸線路提供簡(jiǎn)單的通過/失敗結(jié)果，存取數(shù)據(jù)和結(jié)果，然后返回休眠狀態(tài)。 振動(dòng)檢測(cè)的新用戶們認(rèn)為，快速部署以及合理的擁有成本是選用*集成式MEMS器件的重要原因。
振動(dòng)監(jiān)控應(yīng)用
利用振動(dòng)觀察機(jī)器健康狀況旨在將可觀察到的振動(dòng)與典型的磨損機(jī)制關(guān)聯(lián)起來，比如軸承、齒輪、鏈條、皮帶、刷子、軸、線圈和閥門。 在一臺(tái)典型機(jī)器中，至少有一種磨損機(jī)制需定期維護(hù)。 圖1展示了正常磨損機(jī)制振動(dòng)與時(shí)間關(guān)系的三個(gè)例子。 盡管確定這種關(guān)系需要時(shí)間和經(jīng)驗(yàn)，但關(guān)聯(lián)得當(dāng)?shù)恼駝?dòng)特征不失為短周期定期維護(hù)的低成本替代方案。 利用實(shí)際觀察結(jié)果，比如振動(dòng)，可在檢測(cè)到報(bào)警條件（紅色曲線）時(shí)快速采取行動(dòng)，同時(shí)還能避免對(duì)使用壽命未到期的機(jī)器過早進(jìn)行維護(hù)（藍(lán)色和綠色曲線）。
圖1同時(shí)還展示了機(jī)器維護(hù)周期的兩種報(bào)警設(shè)置（報(bào)警、關(guān)鍵）以及三個(gè)階段（早期、中期、末期）。 報(bào)警水平規(guī)定了正常運(yùn)行期間的zui大振動(dòng)頻率，其中，觀察到的振動(dòng)不含對(duì)機(jī)器或人員的潛在危險(xiǎn)。 在正常范圍時(shí)，可以使用一些儀表測(cè)量偶爾出現(xiàn)的振動(dòng)。 臨界水平表示，資產(chǎn)存在嚴(yán)重受損的風(fēng)險(xiǎn)，從而給人員或環(huán)境帶來不安全因素。 顯然，機(jī)器操作員希望在這一水平時(shí)避免操作機(jī)器，并通常會(huì)停止使用機(jī)器。 當(dāng)振動(dòng)超過報(bào)警水平但低于臨界水平時(shí)，機(jī)器仍可以繼續(xù)工作，但應(yīng)該提高觀察頻率，并可能需要進(jìn)行額外的維護(hù)。
有時(shí)候，這三個(gè)操作區(qū)（正常、報(bào)警、臨界）可以對(duì)應(yīng)于機(jī)器維護(hù)周期的三個(gè)階段： 早期、中期、末期，每個(gè)階段的振動(dòng)監(jiān)控策略可能會(huì)有所不同。 例如，在早期，可能只需要每天、每周或每月觀察儀器的主要振動(dòng)屬性。 進(jìn)入中期時(shí)，可能需要每小時(shí)觀察一次，而在接近末期時(shí)，振動(dòng)監(jiān)控的頻率可能還要更高，尤其是在人員或資產(chǎn)處于危險(xiǎn)的情況下。 在該階段，利用便攜式設(shè)備進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)控的機(jī)器，其重復(fù)成本將逐漸增加，與維護(hù)成本相比，可能高得讓人望而卻步。 雖然有必要對(duì)重要資產(chǎn)進(jìn)行特殊關(guān)照，但許多其他儀器卻是無(wú)法承受這種重復(fù)成本。 作為人工測(cè)量的補(bǔ)充，嵌入式MEMS傳感器為要求實(shí)時(shí)振動(dòng)數(shù)據(jù)的設(shè)備提供了更為經(jīng)濟(jì)的方法。