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用納米級精度測量微小零件復(fù)雜的三維表面幾何形狀
以納米級精度測量復(fù)雜表面幾何形狀的微小零件
不斷小型化是半導(dǎo)體行業(yè)的長期發(fā)展趨勢。微小部件的生產(chǎn)和質(zhì)量控制對測量技術(shù)提出了挑戰(zhàn)。
在微機電和光學(xué)元件的生產(chǎn)中，產(chǎn)品良率取決于復(fù)雜表面幾何形狀尺寸的一致性。由于微系統(tǒng)技術(shù)中的產(chǎn)品設(shè)計通常是三維的，因此不能簡單地用傳統(tǒng)的二維光學(xué)視覺系統(tǒng)進行檢測。傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)以及接觸式測量儀很難測量出高深寬比的結(jié)構(gòu)。而這些正是NanoFocus測量系統(tǒng)的優(yōu)勢所在。
應(yīng)用
利用μsurf、μscan和μsprint，可以在制造過程的各個階段通過非接觸無損方式測量并自動評估微部件的幾何形狀。在機械、光學(xué)及化工行業(yè)，NanoFocus測量系統(tǒng)幫助制造商在生產(chǎn)過程中降低成本同時提高良率。
壓力傳感器
在通過蝕刻生產(chǎn)高壓傳感器時，需要檢查各種幾何參數(shù)，例如深度、寬度和層厚度以及粗糙度，進而對工藝參數(shù)進行配置。使用μsurf一次測量即可獲取表面粗糙度、支柱的微觀幾何尺寸以及金屬表面的涂層厚度等信息。
菲涅爾透鏡
在檢測玻璃表面的亞微米結(jié)構(gòu)時，要求即使在弱反射的情況下，測量儀器可以穩(wěn)定測量同時保證高分辨率。適用于各種表面特性的μsurf*上述要求。
蘇州曼戈斐儀器提供玻璃、鏡片、雙攝像頭模組等翹曲度測量、面形測量、弧高測量、面輪廓度測量、指紋識別測量、芯片翹曲測量、磨損體積測量等樣品免費測量，歡迎垂詢！