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X射線鍍層測(cè)厚儀是表面工程質(zhì)量檢測(cè)的重要環(huán)節(jié)
X射線鍍層測(cè)厚儀已成為加工工業(yè)、表面工程質(zhì)量檢測(cè)的重要環(huán)節(jié)，是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)等質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。為使產(chǎn)品國際化，我國出口商品和涉外項(xiàng)目中，對(duì)鍍層厚度有了明確要求。
x射線鍍層測(cè)厚儀是通過X射線激發(fā)各種物質(zhì)(如Mo、Ag、Mn)的特征X射線，然后測(cè)量這被釋放出來的特征X射線的能量對(duì)樣品進(jìn)行進(jìn)行定性，測(cè)量這被釋放出來的特征X射線的強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)片(或者對(duì)比樣)對(duì)比得出各物質(zhì)的厚度，這種強(qiáng)度和厚度的對(duì)應(yīng)關(guān)系在軟件后臺(tái)形成曲線。而各種物質(zhì)的強(qiáng)度增加，厚度值也增加，但不是直線關(guān)系；通過標(biāo)樣和軟件及算法(算法有FP法和經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法)得到一個(gè)接近實(shí)際對(duì)應(yīng)關(guān)系的曲線。
X射線鍍層測(cè)厚儀的測(cè)量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測(cè)量法，稱重法，X射線熒光法，射線反向散射法，電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。這些方法中前五種是有損檢測(cè)，測(cè)量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗(yàn)。
X射線鍍層測(cè)厚儀是將X射線照射在樣品上，通過從樣品上反射出來的第二次X射線的強(qiáng)度來。測(cè)量鍍層等金屬薄膜的厚度，因?yàn)闆]有接觸到樣品且照射在樣品上的X射線只有45-75W左右，所以不會(huì)對(duì)樣品造成損壞。同時(shí)，測(cè)量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)完成。