1.電阻

10^-5～2×10^5Ω

2.方塊電阻

10^-5～2×10^5Ω/□

3.電阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

4.測試電流

0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100mA

5.電流精度

±0.1%

6.電阻精度

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析：過程數(shù)據(jù)，大、小值，均值，方差，變異系數(shù)，樣品編號，測試點數(shù)統(tǒng)計報表生成等

8.探針范圍選購：

探針壓力為100-550g；依據(jù)樣品接觸需要手動調(diào)節(jié)

9.探針

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%

圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制

10.可測晶片

尺寸選購

晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自動或手動單點模式

12.加壓方式

測量重復性：重復性≤3% 

13.防護功能

具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

14.測試環(huán)境

實驗室環(huán)境

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

16.選購項目

電腦和打印機