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SC100系列勻膠機操作步驟
SC100系列勻膠機操作手冊
使用步驟
1.選擇適合的片托，略小于樣片尺寸，將缺口對準(zhǔn)螺釘卡口，安裝牢固。
2.開啟電源
3.調(diào)節(jié)設(shè)置合適的勻膠時間轉(zhuǎn)速步驟。支持100組每組100步的程序設(shè)置和存儲調(diào)用。
4.放片，并保證樣片處于載物盤正中心。
5.開啟真空吸附，按下“真空”鍵開始吸附樣片。注意：真空狀態(tài)顯示，支持真空報警，真空錯誤電機停止工作。（PE型配備實時真空數(shù)值顯示）
6.程序設(shè)置完畢按“執(zhí)行”鍵，電機旋轉(zhuǎn)，速度加速度連續(xù)可調(diào)轉(zhuǎn)速實時顯示。轉(zhuǎn)速時間曲線分析。
7.滴膠，動作要迅速，要在低轉(zhuǎn)速時間內(nèi)滴膠完畢。建議設(shè)置多步勻膠程序：低速滴膠高速勻膠。
8.電機停止后，停止真空吸附打開上蓋取出樣片。SC100系列有上蓋保護功能，若勻膠過程中開啟上蓋，電機斷電儀器自動停止工作。
9.勻膠工藝時間支持設(shè)置0-3000S，時間設(shè)置到0.1S。
10. 若繼續(xù)勻膠重復(fù)以上步驟。
注意事項
1.不同尺寸的樣片選用不同尺寸的載物盤。支持定制合適尺寸的載物盤。
2.所用樣片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右；
3. 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立即進行清理。SC100系列勻膠機*的不近膠不堵膠設(shè)計有效的解決了近膠堵膠問題，操作非常簡單解決非常方便。
主要技術(shù)參數(shù)
SC100-SE高精密勻膠機主要性能指標(biāo)：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm
工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
SC100-SE高精密勻膠機產(chǎn)品特性優(yōu)點：
的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。
透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
SC100-SE高精密勻膠機產(chǎn)品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)