油擴散泵
ULK 系列

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設(shè)計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?

特點

• 設(shè)計為高臨界背壓。
• 單臺可以抽到?10^-2 Pa (10^-4 torr)，性能非常穩(wěn)定。
• 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
• 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)
• 具備輔助泵側(cè)的油液反流防止機構(gòu)日本愛發(fā)科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?
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