干泵
LR/HR/UR Series
干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用。關(guān)于CEO-SHOCK的詳細(xì)信息，請從關(guān)聯(lián)情報中瀏覽。愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)?
特點
- LR Series: 低溫領(lǐng)域均熱化
針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間 - HR Series/UR Series: 高溫領(lǐng)域均熱化
CVD、蝕刻法等發(fā)生時，升華性排氣物質(zhì)的可以以氣體狀態(tài)排出 - 1000msec以內(nèi)的瞬停對策
- 可以對應(yīng)CE
用途
- 活性氣體（CVD、干腐蝕等）
- 惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
- 排氣時間縮短（LR Series)
- 粉體發(fā)生時的過程排氣（Si單結(jié)晶提高等）
- 輔助排氣泵（漩渦分子泵、機(jī)械泵的輔助排氣）愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)?
式樣
| 型名 | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 300 | LR/HR 600 | UR 600 | LR/HR 1200 | UR 1200 | ||
| 使用泵 | DRP | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 60 | LR/HR 90 | UR 90 | LR/HR 90 | UR 90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 大排氣速度 | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 大排氣圧力（吸入圧力） | 大氣壓 * | ||||||||||||
| 大排氣口圧力（排出圧力） | 1Pa～大氣壓 | ||||||||||||
| 吸氣口（CE式樣） | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| 干泵表面處理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 機(jī)械增壓泵表面處理 | - | - | - | - | - | - | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 電力 | 三相 | VAC (Hz) | 200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| 電流值 | 定常值 | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 大值 | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| 冷卻水出入口差圧 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| 清洗氣體 | 一次圧力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| N2清洗/td> | 軸 | SLM | 5 | ||||||||||
| 氣鎮(zhèn) | SLM | 0～45 | なし*1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。泵的溫度異常時聯(lián)鎖會運(yùn)作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標(biāo)準(zhǔn)。CE對應(yīng)場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮(zhèn)式樣也可以報價。
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| 型名 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-TT | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | UR3601-TT | |||
| 使用泵 | DRP | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | UR421-T | ||
| MBP | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T） | PRC-036D | PRC-036D（D-T） | PRC-036C-T | ||||
| 大排氣速度 | m3/h | 50Hz | 1701 | 1701 | 3200 | 2700 | ||||
| 60Hz | 1784 | |||||||||
| L/min | 50Hz | 28350 | 28350 | 53333 | 45000 | |||||
| 60Hz | 29700 | |||||||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | 0.67 | ||||||||
| 大排氣圧力（吸入圧力） | 大気圧 * | |||||||||
| 大排氣口圧力（排出圧力） | 1Pa～大気圧 | |||||||||
| 吸氣口 * | VG150(KF100) | VG150 | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| 干泵表面處理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 機(jī)械增壓泵表面處理 | ○ * | ○ | × | T：× TT：○ | × | TR：× TTR：○ | ○ | |||
| 質(zhì)量 | kg | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |||
| 電力 | 三相 | VAC(Hz) | 200（50/60),220(60) | 180～240/380～440（50/60） | ||||||
| 電流值 | 定常值 | A | 21.4 | 29.2 | 31 | 35.4 | 39.8 | |||
| 大値 | A | 39.8 | 34.9 | 58.4 | 82 | 68.3 | ||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | |||||||
| 冷卻水出入口差圧 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | |||||||
| 冷卻水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ||||||
| 清洗氣體 | 一次圧力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | |||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | ||||||||
| N2清洗 | 軸 | SLM | 5 | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | SLM | 0～45 | 0～195 | なし*1 | 0～45 | なし*1 | 0～45 | 0～195 | ||
*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。泵的溫度異常時聯(lián)鎖會運(yùn)作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標(biāo)準(zhǔn)。CE對應(yīng)場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮(zhèn)式樣也可以報價。
■消音器（選項）
| 型號 | 材質(zhì) | 表面處理 | 質(zhì)量（kg） | 連接法蘭盤 |
| RS-01 | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 磨板 | 12.5 | NW50 |
■型號適合表
| kit名 | 適合型號 | 夾鉗 | 外側(cè)環(huán) | 連接配管 | 撐條 |
| RS-01kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | - | - |
| RS-01kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
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