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J-25MUV-193 介紹
帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器,用于測(cè)量高達(dá) 500 pps 的 90 µJ 至 100 mJ 的激光脈沖。USB 接口。
主要特點(diǎn)
● 0.19 至 2.1 µm nm 光譜范圍
● 有效區(qū)域直徑 25 毫米
● 90 µJ 至 100 mJ 能量范圍
● 500 pps 重復(fù)率操作
● 直接 USB 接口
這款 J-25MUV-248 能量傳感器采用 MaxUV 涂層,并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm,并包括 0.19 至 2.1 µm 的光譜補(bǔ)償。
EnergyMax-USB J-25MUV-193 能量傳感器端接在 USB 電纜上,可直接與 PC 連接。
可以使用大型散熱器來通過增加平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。
J-25MUV-193 規(guī)格
型號(hào) | J-25MUV-193(無擴(kuò)散器) |
電纜類型 | USB |
有效面積直徑 | 25 mm |
探測(cè)器涂層 | MaxUV |
能量范圍 | 90 µJ to 100 mJ |
波長(zhǎng)范圍 | 190 nm to 2100 nm |
噪聲等效能量 | <9 µJ |
最大熱釋電重復(fù)率(每秒脈沖數(shù)) | 500 |
最大平均功率(W) | 5 |
最大脈沖寬度(µs) | 43 |
最大能量密度(毫焦耳每平方厘米) | 200(193 nm,10 ns) |
擴(kuò)散器 | No |
校準(zhǔn)不確定度(%)(k=2) | ±3 |
能量線性 (%) | ±3 |
校準(zhǔn)波長(zhǎng)(nm) | 193 |
電纜長(zhǎng)度(m) | 3 |
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