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J-50MUV-193 介紹
帶 MaxUV 涂層的熱釋電能量傳感器,用于測量 200 µJ 至 250 mJ 的激光脈沖,最高可達(dá) 200 pps。直接 USB 接口。
主要特點(diǎn)
● 19 至 2.1 µm 光譜范圍
● 有效區(qū)域直徑 50 毫米
● 200 µJ 至 250 mJ 能量范圍
● 200 pps 重復(fù)率操作
● USB 接口
● 已獲得 ISO 17025 認(rèn)證
這款 J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層,并針對 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm,并包括從 193 nm 到 2.1 µm 的光譜補(bǔ)償。
EnergyMax-USB J-50MUV-193 能量傳感器端接在 USB 電纜上,可直接與 PC 連接。提供 DB25 型號 (PN 1146237)。
可以使用大型散熱器 (PN 1123432) 來通過增加平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。
J-50MUV-193 規(guī)格
電纜類型 | USB |
有效面積直徑 | 50 毫米 |
探測器涂層 | MaxUV |
能量范圍 | 200 µJ 至 250 mJ |
波長范圍 | 190 nm 至 2100 nm |
噪聲等效能量 | <20微焦 |
最大熱釋電重復(fù)率(每秒脈沖數(shù)) | 200 |
波長范圍(微米) | 0.19 至 2.1 |
最大平均功率(瓦) | 10 |
最大脈沖寬度(微秒) | 86 |
最大能量密度(毫焦耳每平方厘米) | 200(193 nm,10 ns) |
擴(kuò)散器 | No |
校準(zhǔn)不確定度(%)(k=2) | ±3 |
能量線性 (%) | ±3 |
校準(zhǔn)波長(納米) | 193 |
電纜長度(米) | 3 |
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