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潔凈室檢測之潔凈度檢測

 一、潔凈室潔凈度說明   

    潔凈度檢測是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認(rèn)無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。  

 二、潔凈室潔凈度檢測儀器    

潔凈度檢測使用微粒計數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數(shù)器有不同規(guī)格，常見的是流量 1cfm ，小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。于應(yīng)使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數(shù)器。 Class 1000 或更高： 0.5μm       Class 100 ： 0.3μm ，0.5um     Class 1 到 Class 10 ：0.1μm    若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計數(shù)器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。     

 三、潔凈室潔凈度檢測步驟：   

  (1) 確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。  

  (2) 確認(rèn)測試位置與測試點數(shù)。   

  (3) 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。

  (4) 測試位置應(yīng)均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當(dāng)之架臺支撐，不可以手持支撐。

  (5) 測量點數(shù)以公式計算（與 209E 相同）。

 四、潔凈室潔凈度檢測驗收標(biāo)準(zhǔn)：     

潔凈度的驗收基準(zhǔn)有二，先是每點的微粒測量平均值必須低于規(guī)定值。潔凈度的第二個驗收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規(guī)定值。    

五、潔凈室檢測之風(fēng)速及平衡性測試    

一、測試目的  

    氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。

二、  單*向型無塵室，很多都是設(shè)計成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單*向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。    

三、使用儀器  

    潔凈室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點式風(fēng)速計如電子式壓力計配合皮氏管、式風(fēng)速計。也可以使用多點式風(fēng)速計如 Shortridge Velgrid 16 點風(fēng)速計。輪葉式風(fēng)速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。式風(fēng)速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時 < 0.5m/s 以下 > 準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計由于本身重量問題，也不適用低速。 檢量及平衡性測試。 產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。