OPMS 的核心部件是質(zhì)譜儀,其工作原理是將待測氣體或蒸汽電離成離子,然后根據(jù)質(zhì)荷比 (m/z) 進行分離和檢測。具體步驟如下:
樣品引入: 通過采樣系統(tǒng)從工藝流程中提取少量氣體或蒸汽樣品,并將其引入質(zhì)譜儀的離子源。
電離: 在離子源中,樣品分子被電子轟擊、化學電離或其他方式電離,形成帶正電荷的離子。
質(zhì)量分析: 離子在電場和/或磁場的作用下,根據(jù)其質(zhì)荷比進行分離。
檢測: 分離后的離子被檢測器檢測,產(chǎn)生與離子豐度成正比的電信號。
數(shù)據(jù)分析: 電信號被轉(zhuǎn)換成質(zhì)譜圖,通過分析質(zhì)譜圖中的特征峰,可以確定樣品中各種成分的種類和濃度。
與傳統(tǒng)的離線分析方法相比,OPMS 具有以下顯著優(yōu)勢:
實時性: 能夠連續(xù)、實時地監(jiān)測過程氣體成分的變化,為過程控制提供即時反饋。
高靈敏度: 能夠檢測到痕量級別的成分,滿足高精度分析的需求。
多組分同時分析: 能夠同時分析多種成分,提供全面的過程信息。
無需樣品預處理: 直接分析氣體或蒸汽樣品,簡化了分析流程,提高了分析效率。
自動化程度高: 可以實現(xiàn)無人值守的連續(xù)運行,降低人工成本。
隨著科技的進步,OPMS 將會朝著以下方向發(fā)展:
微型化: 開發(fā)更小型化、便攜式的 OPMS,滿足現(xiàn)場快速檢測的需求。
智能化: 結(jié)合人工智能和大數(shù)據(jù)技術,實現(xiàn)數(shù)據(jù)分析的自動化和智能化。
多功能化: 開發(fā)能夠同時分析多種物理化學參數(shù)的 OPMS,提供更全面的過程信息。
網(wǎng)絡化: 將 OPMS 接入工業(yè)物聯(lián)網(wǎng),實現(xiàn)遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)共享。
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