半導體氣體傳感器的敏感體主要是由半導體材料制成的，其中應(yīng)用為廣泛的半導體材料不是常見的硅、鍺半導體，而是金屬氧化物半導體，在氣體傳感器領(lǐng)域中應(yīng)用多的金屬氧化物是SnO2，ZnO，F(xiàn)e2O3，WO3等。

半導體式氣體傳感器的基本工作原理：就是在一定條件（溫度）下，在被測氣體到達半

導體表面并與吸附在半導體表面的氧發(fā)生化學反應(yīng)的過程中伴隨電荷轉(zhuǎn)移，進一步引起半導體電阻的變化，通過測量半導體電阻的變化就可以實現(xiàn)對氣體的檢測。它的優(yōu)點主要是在低濃度氣體中輸出變化大、靈敏度高，使用壽命長，選擇性相對比較好。

它缺點是線形度不好，所以只適合定性測量不適合定量測量。它在較高濃度下幾乎飽和，所以只能在濃度很底的情況下測量。另外他對毒性氣體的測量能力較差，所以現(xiàn)在的應(yīng)用范圍基本局限在對可燃氣體的測量。