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涂層雙電測(cè)電四探針方阻電阻率測(cè)試儀
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)
涂層雙電測(cè)電四探針方阻電阻率測(cè)試儀
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
3.測(cè)試電流范圍:10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10.選購(gòu)功能: 選購(gòu)1.pc軟件; 選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)
11.測(cè)試探頭: 探針間距選購(gòu):1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu):碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針
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