HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹

 氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller(meter)縮寫(xiě)為 MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）

   特點(diǎn)： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

              ☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線(xiàn)路板、閥體、彈等為重要零部件，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。 ☆具有精度高、重復(fù)性好、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。

              ☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì) 量。

 S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）主要應(yīng)用領(lǐng)域：

    半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；   

    分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；

    各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

    環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；

    化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制；

    特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

    混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品規(guī)格

   質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié) 閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分 布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的 影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得 的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，通過(guò)閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定 的流量相等。

HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器