產(chǎn)地：意大利ETG
簡(jiǎn)介：

?全自動(dòng)在線質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)

? 探測(cè)VOC含量

? 對(duì)污染物進(jìn)行定性和形態(tài)分析

? 探測(cè)水平可達(dá)ppb以下

? 集成PC，支持?jǐn)?shù)據(jù)處理

? 有機(jī)化合物探測(cè)水平可達(dá)ppb水平

? 采樣點(diǎn)可多達(dá)16個(gè)

無(wú)污染的生產(chǎn)環(huán)境不只是空想，是可以付諸實(shí)踐的，但是需要對(duì)原材料和制造進(jìn)程中的空氣過(guò)濾裝置進(jìn)行嚴(yán)格的控制。*的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)可以幫助穩(wěn)定生產(chǎn)，增加過(guò)濾裝置的使用壽命。

通過(guò)μVOC-CAM監(jiān)測(cè)儀，用戶可以長(zhǎng)時(shí)間在線監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物的含量，而不需要像使用采樣器那樣只在某一個(gè)時(shí)間點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量精度水平可達(dá)ppb水平以下。

丁酮，*基硅烷，丙酮，乙醇，異丙醇，環(huán)己烷，乳酸乙酯，正己烷，乙苯，丁醇，醋酸乙酯，二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，六甲基二硅烷，丙二醇甲醚醋酸酯及其他組分。

長(zhǎng)久以來(lái)，氣象色譜就是測(cè)量和分離復(fù)雜分子化合物的主要選擇。氣象色譜法取決于樣品的蒸發(fā)性以及色譜柱對(duì)不同組分的吸收能力。

組分被色譜柱洗脫后，由火焰離子檢測(cè)器（FID）對(duì)其電導(dǎo)性進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而得到組分的含量。*的吹掃和采樣系統(tǒng)使探測(cè)水平可達(dá)ppb以下水平。

測(cè)量原理：火焰電離氣相色譜法

尺寸（H×W×D）：160cmx60cmx80cm

外殼：NEMA 12或IP54有不銹鋼

操作溫度：10℃~ 35℃

通訊：RS-232, 以太網(wǎng), ODBC

氣體要求：CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可選擇 H2發(fā)生器）

采樣通道：多達(dá)16通道

分辨率：0.1 ppb

探測(cè)組分：可多達(dá)30種，用戶自定義

測(cè)量范圍：0-200 ppb

產(chǎn)地：意大利ETG
簡(jiǎn)介：

●實(shí)時(shí)超靈敏監(jiān)測(cè)氨，HCI，HF含量

●快速高精度測(cè)量

●不會(huì)使用到任何的放射物質(zhì)；

●多點(diǎn)分析，大通道數(shù)可達(dá)16通道

●便攜

●無(wú)需校準(zhǔn)

深紫外（DUV）光刻工藝已經(jīng)被證明對(duì)許多種分子空氣污染物特別敏感，氨氣和酸性氣體會(huì)在整個(gè)生產(chǎn)區(qū)域產(chǎn)生問(wèn)題?？棺贤獠牧稀㈤L(zhǎng)壽命過(guò)濾器的使用并沒(méi)有減少對(duì)周圍環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)的需求，事實(shí)上，

環(huán)境空氣分子污染物的監(jiān)測(cè)顯得越來(lái)越重要。ORION 3100系統(tǒng)的測(cè)量原理基于CEAS（腔體增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，有效延長(zhǎng)空氣過(guò)濾器的使用壽命和減少故障出現(xiàn)次數(shù)。通過(guò)ETG HMI（人機(jī)交互界面）軟件，操作者可以實(shí)時(shí)對(duì)位于不同測(cè)量點(diǎn)的多臺(tái)氨，HCI，HF分析儀進(jìn)行控制。這個(gè)軟件專門(mén)為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，主要用于深紫外光刻工藝環(huán)境空氣監(jiān)測(cè)。該軟件也可用于其它工業(yè)或?qū)嶒?yàn)室現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)，但是需要用到一臺(tái)或多臺(tái)CEAS分析儀實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)采樣。該軟件建立在Windows操作系統(tǒng)之上，采用交互控制報(bào)警，具有數(shù)據(jù)采集，歷史數(shù)據(jù)趨勢(shì)記錄和基本測(cè)量等功能。

環(huán)境空氣中的污染物監(jiān)測(cè)對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程起到越來(lái)越重要的作用。對(duì)于整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)說(shuō)，也提出了快速探測(cè)，快速發(fā)出警報(bào)，極低的探測(cè)極限，大的采樣區(qū)域，同時(shí)對(duì)多種氣體實(shí)現(xiàn)靈敏探測(cè)等要求。對(duì)于DUV光刻工藝來(lái)說(shuō)，由于氨，胺類，NMP和酸類物質(zhì)會(huì)與化學(xué)增幅抗蝕劑發(fā)生反應(yīng)，不利于光刻進(jìn)程的進(jìn)行，因此能否對(duì)這些組分進(jìn)行有效的監(jiān)測(cè)對(duì)于整個(gè)光刻工藝起到關(guān)重要的作用。

傳統(tǒng)方法例如撞擊濾塵器，離子色譜，化學(xué)熒光法，分析速度太慢，操作過(guò)程太復(fù)雜，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不。ETG采用CEAS技術(shù)，能夠快速探測(cè)得到氨，HCI，HF，SO2，VOC's含量，采用脈沖熒光法探測(cè)SO2，采用增強(qiáng)GC-FID探測(cè)VOC含量，是目前市場(chǎng)上強(qiáng)大的半導(dǎo)體環(huán)境污染物監(jiān)測(cè)設(shè)備之一。

ORION 3100是一款多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，能夠按順序?qū)怏w送入到分析儀或傳感器，完成濃度測(cè)量。ORION 3100可以輸出來(lái)自4-6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)，使用以太網(wǎng)，網(wǎng)絡(luò)傳輸協(xié)議，RS485/RS232或4-20mA模擬模塊。每一個(gè)分析儀內(nèi)置有一個(gè)電腦（Linux OS），支持將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出，另外還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制。

原理基于近紅外領(lǐng)域高靈敏度吸收測(cè)量CEAS。測(cè)量單元包括一個(gè)兩端采用高反射率鏡片密封的圓柱管。激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度，原本傳播到測(cè)量單元外的光束會(huì)經(jīng)過(guò)左側(cè)的腔鏡，被省略了。

CEAS技術(shù)相比于*代CRDS技術(shù)（光腔衰蕩光譜）有很多優(yōu)勢(shì)。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，由于激光光束共振耦合到測(cè)量單

元（對(duì)于光束是否對(duì)齊沒(méi)有要求）。

ORION 3100主要特色：

●實(shí)時(shí)ppb水平測(cè)量

●采用CEAS技術(shù)

●整個(gè)運(yùn)行過(guò)程持續(xù)進(jìn)行，無(wú)需操作者照看，可以在惡劣有危險(xiǎn)的環(huán)境中使用

●整個(gè)操作過(guò)程不會(huì)使用到溶劑，放射性物質(zhì)，紙帶，吸附劑以及其他安規(guī)的耗材等

●長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性；

●采用固態(tài)電子元件，組件不發(fā)生移動(dòng)

●為了保證更長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間，儀器幾乎免維護(hù)；

●每一臺(tái)監(jiān)測(cè)儀在出廠時(shí)你都會(huì)進(jìn)行校準(zhǔn)；

●可用于單組份或多組分測(cè)量；

●多點(diǎn)采樣，多可達(dá)16通道；

●成程序化警報(bào)和故障繼電器；

●可程序化采樣順序；

●開(kāi)放式通訊協(xié)議，更容易嵌入到已經(jīng)存在的系統(tǒng)中；

●發(fā)生電源中斷或者出現(xiàn)關(guān)機(jī)將不會(huì)發(fā)生數(shù)據(jù)損失；

●連接1/4"OD；

●管道：PFA，PVDF；

●單通道管線大長(zhǎng)度：80m；

●PC色彩VGA觸摸顯示屏，支持圖形顯示；

●可以采用遠(yuǎn)程控制軟件實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程可視化；

●信號(hào)輸出：RS232，以太網(wǎng)，可選：4-20mA，網(wǎng)絡(luò)通訊協(xié)議；