液環(huán)真空泵在工作時，在一定溫度下，當?shù)蛪禾幍囊后w壓力低于在該溫度下的汽化壓力（即飽和蒸汽壓），液體開始汽化而產(chǎn)生氣泡，并隨液體進入高壓區(qū)時，氣泡破裂，周圍液體迅速填充原氣泡空穴，產(chǎn)生水力沖擊。這種氣泡的產(chǎn)生、發(fā)展和破裂現(xiàn)象就稱為汽蝕。
在液環(huán)真空泵的工作過程中，吸入?yún)^(qū)域的壓力與被抽系統(tǒng)的壓力是一致的。也就是說，被抽系統(tǒng)的真空度越高，吸入?yún)^(qū)域的真空度也越高。
液環(huán)真空泵需要用液體作為工作介質。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入?yún)^(qū)域的壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態(tài)。這時，在吸入?yún)^(qū)域的工作液表面會產(chǎn)生大量的汽泡，由于液體在工作腔內產(chǎn)生的工作液蒸汽會占據(jù)部分工作腔的空間，泵對外的吸氣能力會有所下降。當吸入?yún)^(qū)域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為工作腔內全部充滿了工作液蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于0，而此時泵的汽蝕現(xiàn)象也zui為嚴重。
如果工作液是水，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多。。
液環(huán)泵的汽蝕損壞和離心式水泵的汽蝕損壞原理是一樣的，都是在汽泡產(chǎn)生和破裂的部位，金屬表面出現(xiàn)點蝕現(xiàn)象，嚴重的會出現(xiàn)蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應力，還會引起應力釋放，產(chǎn)生裂紋。
由于泵汽蝕時，氣泡在高壓區(qū)連續(xù)發(fā)生突然破裂，以及伴隨的強烈水擊，而產(chǎn)生噪聲和振動。可以聽到像爆豆似的劈劈啪啪的聲音。實測結果表明，汽蝕引起的振動頻率范圍為600～25000Hz，壓力達49MPa。
如果上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續(xù)強烈的水擊，出現(xiàn)麻點，金屬晶粒松動并剝落而成蜂窩狀，甚至穿孔。汽蝕破壞除機械作用外，還伴隨有電解、化學腐蝕等多種復雜的作用。實際破壞情況表明，泵過流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方。