產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

橢偏儀測(cè)膜厚的優(yōu)點(diǎn)?1.測(cè)量對(duì)象廣泛：可測(cè)透明膜，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測(cè)量的薄膜尺寸可以很小。?3.測(cè)量速度快。（7-13s檢測(cè)時(shí)間）?4.光學(xué)測(cè)量方法對(duì)樣品表面損傷Z小。?5.測(cè)量精度高，海洋光學(xué)橢偏儀可以達(dá)到0.1nm的精度，而國(guó)內(nèi)同類型產(chǎn)品只能達(dá)到1nm精度.?6.非苛刻性測(cè)量，樣品可是塊狀固體或薄膜

詳細(xì)介紹

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀的基本原理：測(cè)量光在反射或者穿透待測(cè)樣品時(shí)其偏振性質(zhì)的改變。而偏振性質(zhì)的改變主要是由樣品的性質(zhì)，如厚度d、折射率n或消光系數(shù)k決定。

•偏振態(tài)的改變主要表現(xiàn)為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化，而相位的變化會(huì)導(dǎo)致干涉條紋的產(chǎn)生，橢偏儀就是根據(jù)干涉光譜的分析來(lái)得出n,k,d.
•橢偏儀優(yōu)勢(shì)：非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

集成的精確測(cè)量系統(tǒng)

SpecEl由一個(gè)集成的光源，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過(guò)SpecEI軟件，你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會(huì)被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來(lái)執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來(lái)計(jì)算厚度，折射率及吸光率。

配置說(shuō)明

波長(zhǎng)范圍:	380-780 nm （標(biāo)準(zhǔn)）或450-900 nm （可選）
光學(xué)分辨率:	4.0 nm FWHM
測(cè)量精度:	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:	70°
膜厚:	單透明膜1-5000 nm
光點(diǎn)尺寸:	2 mm x 4 mm （標(biāo)準(zhǔn)）或 200 µm x 400 µm （可選）
采樣時(shí)間:	3-15s （zui?。?/span>
動(dòng)態(tài)記錄:	3 seconds
機(jī)械公差（height）:	/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜層數(shù):	至多32層
參考:	不用

SpecEl 橢偏儀更多資料請(qǐng).

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