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[供應(yīng)]PlasCalc-海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀,海洋光學(xué)
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  • PlasCalc-海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀,海洋光學(xué)
貨物所在地:
四川成都市
產(chǎn)地:
美國
更新時(shí)間:
2021-04-19 21:00:13
有效期:
2021年4月19日 -- 2021年10月19日
已獲點(diǎn)擊:
310
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光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM) 光譜范圍 200-1100nm 快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法

詳細(xì)介紹

 

海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀

PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀,實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量,通過高級(jí)過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法,只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。

海洋光學(xué)特點(diǎn)

  • 海洋光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)

  • 光譜范圍 200-1100nm

  • 快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法

海洋光學(xué)Recipe編輯器

Recipe編輯器有助于簡(jiǎn)單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對(duì)一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測(cè)量、等離子體蝕刻監(jiān)測(cè)、表面潔度監(jiān)測(cè)、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測(cè)等,能夠快速簡(jiǎn)單的構(gòu)建模塊過程控制。

多種工具用于等離子體診斷

隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能??蛇x的波長(zhǎng)發(fā)生器(可以單獨(dú)購買)用于類型確認(rèn),而波長(zhǎng)編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過程控制信息。

PlasCalc 配置說明

光譜范圍:

200-1100 nm

光學(xué)分辨率:

1.0 nm (FWHM)

D/A 轉(zhuǎn)換:

14 bit

數(shù)字I/O:

8 x TTL

模擬輸出:

4 x [0-10V]

接口:

USB 1.1

功耗:

12 VDC @ 1.25 A

電源:

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸:

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量:

5 kg

 

PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀優(yōu)點(diǎn)是軟件分析功能強(qiáng)大,光譜范圍寬,缺點(diǎn)是分辨率低.


 

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