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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-II-SL大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)

大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) BTF-1200C-II-SL
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
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更新時(shí)間:2021-09-27 23:30:37瀏覽次數(shù):1910

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BTF-1200C-III-SL-4ZL大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能.

詳細(xì)介紹

大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)技術(shù)參數(shù)

BTF-1200C-III-SL-4ZL

尺寸

1080×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌)

爐管尺寸

?50/?60/?80/?100/?130*2330mm(各管徑可選)

加熱區(qū)長(zhǎng)度

300+300+300mm(900mm)

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

500mm

工作溫度

1100℃

最高溫度

1200攝氏度

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度

±1℃

推薦升溫速率

10-20℃/min

額定電壓

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

額定功率

7KW

供氣系統(tǒng)

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

100、200、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

低真空機(jī)組

工作環(huán)境

5℃~40℃

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境)

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