為確保生產(chǎn)環(huán)境對(duì)生產(chǎn)工藝的污染處于控制之中，就需要對(duì)環(huán)境設(shè)定限制。對(duì)空氣環(huán)境而言，通過測(cè)定空氣懸浮顆粒物或微生物的生成單位來(lái)作出判斷。而且ISO 14644和其它相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于采樣方法和限制都有具體的規(guī)定?？刂频姆椒ㄖ饕莾艋L(fēng)，但對(duì)于人員與產(chǎn)品因直接接觸而造成的危害，其控制措施主要是戴手套、指套，以及要求生產(chǎn)人員采用盡可能避免直接接觸的正確操作方法。而監(jiān)測(cè)工作包括檢查所用手套的破損情況、測(cè)量手套表面的粒子或微生物等。
潔凈室內(nèi)的污染源、傳播途徑、控制與監(jiān)測(cè)方法見下表：

監(jiān)測(cè)采樣必須采用正確、可靠的方法。為保證監(jiān)測(cè)采樣的結(jié)果可靠，以下問題必須引起重視。
1、采樣儀器的采樣效率
例如根據(jù)潔凈室監(jiān)測(cè)的微粒粒徑，盡可能選用合適的離散粒子計(jì)數(shù)器，避免使用其粒徑閾值作為監(jiān)測(cè)粒徑，一般來(lái)說離散粒子計(jì)數(shù)器的粒徑閾值檔的效率往往偏低。
2、儀器校準(zhǔn)
仍以離散粒子計(jì)數(shù)器為例，其激光光源的光強(qiáng)、其它如光電轉(zhuǎn)換電子器件的效能，都會(huì)隨時(shí)間有所變化，定期校準(zhǔn)與標(biāo)定是保證其測(cè)值可信的重要條件。
3、制定報(bào)警值和行動(dòng)值
有些監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是連續(xù)工作的，如高潔凈度潔凈室設(shè)有持續(xù)的顆粒物計(jì)數(shù)監(jiān)控裝置，而另一些相對(duì)不十分重要的污染源，如頂棚等，可能只有定期的清潔制度，并不對(duì)其進(jìn)行監(jiān)測(cè)。對(duì)潔凈室內(nèi)的各種危害及相應(yīng)的控制方法都要確定監(jiān)測(cè)的制度，其中就包括監(jiān)測(cè)的頻率。危害程度越高，采樣應(yīng)越頻繁。
當(dāng)監(jiān)測(cè)結(jié)果表明污染危害未受到控制時(shí)，必須事前先確定應(yīng)采取怎樣的糾正措施，設(shè)定報(bào)警條件和行動(dòng)條件就是一種常用的方法。報(bào)警值設(shè)定為某個(gè)高于預(yù)期值的污染濃度，但該值仍在控制范圍內(nèi)。一般超過報(bào)警值并不采取行動(dòng)，因?yàn)檫@僅是對(duì)將來(lái)出現(xiàn)問題的一個(gè)警示。如果在相對(duì)較短的時(shí)間內(nèi)多次出現(xiàn)報(bào)警，則可能預(yù)示著需要采取行動(dòng)。
而行動(dòng)值應(yīng)設(shè)置為一旦超過就必須進(jìn)行檢查、分析，確認(rèn)這種狀況是否可以接受。如果不能，要采取什么措施才可以控制局面。