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半導(dǎo)體前驅(qū)體材料研發(fā)裝置
  • 半導(dǎo)體前驅(qū)體材料研發(fā)裝置

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-12-19 11:26:45

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半導(dǎo)體前驅(qū)體材料研發(fā)裝置是一套專門為研發(fā)半導(dǎo)體前驅(qū)體材料而設(shè)計的復(fù)雜設(shè)備組合。
半導(dǎo)體前驅(qū)體材料研發(fā)裝置是一套專門為研發(fā)半導(dǎo)體前驅(qū)體材料而設(shè)計的復(fù)雜設(shè)備組合。


它通常包含以下重要組成部分:


合成反應(yīng)系統(tǒng)


  • 高精度反應(yīng)釜:能夠精確控制溫度、壓力和攪拌速度,以實現(xiàn)各種復(fù)雜的化學反應(yīng)。

  • 惰性氣體保護系統(tǒng):防止前驅(qū)體在合成過程中與空氣中的成分發(fā)生反應(yīng),影響產(chǎn)物純度。


原料供應(yīng)與計量系統(tǒng)


  • 高精度計量泵:確保各種原料按照精確的比例添加。

  • 原料儲罐:用于儲存純凈的原材料,保證原料的質(zhì)量和穩(wěn)定性。


分離與提純系統(tǒng)


  • 精餾塔:用于分離和提純揮發(fā)性成分。

  • 膜過濾裝置:去除微小的雜質(zhì)顆粒和大分子物質(zhì)。


分析檢測系統(tǒng)


  • 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS):精確分析金屬雜質(zhì)含量。

  • 氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS):檢測有機成分和雜質(zhì)。

  • 元素分析儀:確定元素組成。


控制與監(jiān)測系統(tǒng)


  • 自動化控制系統(tǒng):實時監(jiān)控和調(diào)整反應(yīng)參數(shù),保證實驗的重復(fù)性和穩(wěn)定性。



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