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半導(dǎo)體拋光液制備裝置
  • 半導(dǎo)體拋光液制備裝置

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-12-19 11:26:19

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半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。
半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專用設(shè)備。


它通常由以下幾個主要部分構(gòu)成:


原料儲存系統(tǒng)


  • 多個不同規(guī)格的儲罐,分別用于存放磨料(如納米級二氧化硅、氧化鋁等)、化學(xué)添加劑(如氧化劑、表面活性劑、螯合劑等)以及溶劑(如水、有機溶劑等)。


精確計量系統(tǒng)


  • 高精度的計量泵或稱重傳感器,能夠按照精確的配方比例準(zhǔn)確地添加各種原料。


攪拌混合系統(tǒng)


  • 強力攪拌器或均質(zhì)機,確保各種原料充分混合均勻,達(dá)到微觀層面的均勻性。


溫度控制系統(tǒng)


  • 加熱和冷卻裝置,可根據(jù)需要控制反應(yīng)和混合過程中的溫度,以優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)和物理混合效果。


過濾系統(tǒng)


  • 精細(xì)的過濾裝置,如微孔過濾器或超濾膜,用于去除可能存在的大顆粒雜質(zhì)和團聚物,保證拋光液的純凈度。


質(zhì)量監(jiān)測系統(tǒng)


  • 在線粒度分析儀:實時監(jiān)測磨料顆粒的粒徑分布。

  • pH 計:檢測溶液的酸堿度。

  • 電導(dǎo)率儀:測量溶液的電導(dǎo)率,以評估溶液中離子的含量。


自動化控制系統(tǒng)


  • 對整個制備過程進行自動化控制和數(shù)據(jù)記錄,保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。



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