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場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000的產(chǎn)品特點：

1、分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像

2、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel),在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

3、電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

4、電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

5、水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

6、磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000的關(guān)鍵參數(shù)：

分辨率：0.9 nm @ 15 kV，SE *1.3 nm @ 1.0 kV，SE *0.8 nm @ 30 kV，STEM

加速電壓：20 V ~ 30 kV

放大倍率： 1 ~ 2,500,000 x

電子槍類型 ：肖特基場發(fā)射電子槍

軟件：

語言：中文

操作系統(tǒng)：Windows

導(dǎo)航：光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航

自動功能 ：自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

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