美國MASSVAC 355051型過濾器可以保護(hù)泵免受腐蝕性化學(xué)品和磨料顆粒存在于您的真空系統(tǒng)。它的特點(diǎn)是有一個(gè)三級(jí)的污水收集系統(tǒng):第一級(jí)在大面積的表面上撞擊重顆粒,凝結(jié)揮發(fā)性固體和液體;第二級(jí)和第三級(jí)含有兩個(gè)平行的過濾元件,可以定制來去除腐蝕性化學(xué)品和微粒。水或制冷劑冷卻的配件,使第一階段更有效的凝結(jié)。
保護(hù)油封真空泵和干真空泵
清除可能破壞真空泵的腐蝕性和磨料
諸如 Pecvd, 角 , 莫卡德夫, 金屬蝕刻 和 HVPE。
模塊化設(shè)計(jì)使設(shè)備易于拆卸和清潔
元素替換是快速和容易的
提供水或制冷劑冷卻選擇
美國MASSVAC 355051型過濾器可配置為許多不同的裝置,從重顆粒應(yīng)用到那些產(chǎn)生可凝結(jié)或有機(jī)蒸氣。
第一階段撞擊重顆粒和一些壓縮物
冷卻線圈去除更多的壓縮物,降低氣體溫度
第2階段墨盒元件使第一次過濾通過
第3階段元素去除更細(xì)的微粒
煤氣出口
現(xiàn)在提供了一個(gè)新的配置,其特點(diǎn)是單一的高容量、高效率的微粒過濾器,用于產(chǎn)生大量微粒的過程。這個(gè)大的過濾器,13"高x14"直徑,是由高溫褶皺聚酯材料,提供40平方英尺。金融時(shí)報(bào)每平方米顆粒保留量60克的面積。金融時(shí)報(bào)這些過濾器可以獲得25微米和100微米的評級(jí),提供99%的粒子效率評級(jí)。這種大面積的表面積和顆粒保留率的結(jié)合,使其非常適合用于保護(hù)用于LPCVD、PECVD和ALD的半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)的真空泵。
該多拉桿直徑為16",電導(dǎo)等級(jí)大于2000CFM@1托爾,全304不銹鋼結(jié)構(gòu),具有ISO-160端口,以直角和直通式配置。現(xiàn)有裝置也有可選的冷卻配件、濾罩和改裝工具包?？商砑酉葳宥询B模塊,以大大增加容量。
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