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詳細(xì)介紹
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計(jì) 條紋帶有INFICON*的傳感器護(hù)罩，可防止不希望有的過程副產(chǎn)品出現(xiàn)。INFICON條紋采用創(chuàng)新的加熱概念，為觸摸表。
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計(jì) 3CC9-651-2380優(yōu)點(diǎn)
1.高生產(chǎn)率 - 響應(yīng)時(shí)間超過2ms（FS> 50 mTorr）
2.靈活的集成 - EtherCAT現(xiàn)場(chǎng)總線
3.壽命長(zhǎng) - 經(jīng)過驗(yàn)證的陶瓷傳感器
4.忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm /年滿量程穩(wěn)定性
典型應(yīng)用
1.原子層沉積
2.高速過程控制
3.PVD，CVD，蝕刻
4.一般高溫真空應(yīng)用
3CC9-651-2380產(chǎn)品規(guī)格
| 類型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 準(zhǔn)確度（1） | 閱讀的百分比 | 0.15 | - |
| 精確 | 閱讀的百分比 | - | 0.2 |
| 溫度效應(yīng) | |||
| 在零... 1000乇/毫巴 | 百分比FS /℃ | 0.0025 | - |
| 零點(diǎn)0.5 ... 0.05 Torr / mbar | 百分比FS /℃ | 0.005 | - |
| 零點(diǎn)0.02 ... 0.01 Torr | 百分比FS /℃ | - | 0.01 |
| 在跨度上 | 讀數(shù)百分比/°C | 0.01 | 0.01 |
| 大壓力 | |||
| P大1000Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 400 | 400 |
| P大500 ... 1Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 260 | 260 |
| P大0.5 ... 0.01Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 130 | 130 |
| 解析度 | 百分比FS | 0.003 | 0.003 |
| 低的閱讀 | 百分比FS | 0.01 | 0.01 |
| 低的建議閱讀 | 百分比FS | 0.05 | 0.05 |
| 建議的低控制壓力 | 百分比FS | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | |||
| 操作（環(huán)境） | C | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
| 法蘭烘烤 | C | ≤110 | ≤110 |
| 存儲(chǔ) | C | -20 ... +85 | -20 ... +85 |
| 電源電壓 | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | |
| 能量消耗 | |||
| 在加熱期間 | w ^ | ≤14 | ≤14 |
| 在工作溫度下 | w ^ | ≤9 | ≤9 |
| 輸出信號(hào)（模擬） | V（直流） | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
| 響應(yīng)時(shí)間（2） | 女士 | 2 | |
| 防護(hù)等級(jí) | IP 30 | IP 30 | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | |||
| CE符合性 | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | |
| ETL認(rèn)證 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | |
| SEMI合規(guī)性 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub，15極，男 | D-sub，15極，男 | |
| 設(shè)定點(diǎn) | |||
| 設(shè)定點(diǎn)數(shù) | 2（SP1，SP2） | 2（SP1，SP2） | |
| 繼電器接觸 | V（直流） （dc） | ≤30 | ≤30 |
| 滯后 | 百分比FS | 1 | 1 |
| 診斷端口 | |||
| 協(xié)議 | USB | USB | |
| 讀 | 壓力，狀態(tài)，身fen證 | 壓力，狀態(tài)，身fen證 | |
| 組 | 設(shè)定點(diǎn)，濾波器，零點(diǎn)調(diào)整，出廠重置，DC偏移 | 設(shè)定點(diǎn)，濾波器，零點(diǎn)調(diào)整，出廠重置，DC偏移 | |
| 材料暴露在真空中 | 氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4）） | 氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4）） | |
| 內(nèi)部音量 | |||
| I.體積1/2''管 | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.體積DN 16 ISO KF | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.體積DN 16 CF-R | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.第8卷VCR® | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| 重量 | |||
| 重量1/2“管 | G | 837 | 837 |
| 重量DN 16 ISO KF | G | 852 | 852 |
| 重量DN 16 CF-R | G | 875 | 875 |
| 重量8VCR® | G | 897 | 897 |
| EtherCAT的 | |||
| 協(xié)議EtherCAT | 于EtherCAT的協(xié)議 | 于EtherCAT的協(xié)議 | |
| 通信標(biāo)準(zhǔn) | ETG.5003第1部分“半導(dǎo)體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空壓力表” | ETG.5003第1部分“半導(dǎo)體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空壓力表” | |
| 節(jié)點(diǎn)地址 | 顯式設(shè)備標(biāo)識(shí) | 顯式設(shè)備標(biāo)識(shí) | |
| 物理層 | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | |
| 數(shù)字功能讀取 | 壓力，狀態(tài)，身fen證 | 壓力，狀態(tài)，身fen證 | |
| 數(shù)字功能設(shè)置 | 設(shè)定點(diǎn)，濾波器，零點(diǎn)調(diào)整，復(fù)位，DC偏移 | 設(shè)定點(diǎn)，濾波器，零點(diǎn)調(diào)整，復(fù)位，DC偏移 | |
| 處理數(shù)據(jù) | 修復(fù)了PDO映射和可配置的PDO映射 | 修復(fù)了PDO映射和可配置的PDO映射 | |
| （CoE） | SDO請(qǐng)求，響應(yīng)和信息 | SDO請(qǐng)求，響應(yīng)和信息 | |
| EtherCAT連接器 | RJ45,8針（插座），IN和OUT | RJ45,8針（插座），IN和OUT | |
| 電纜 | 屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高 | 屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高 | |
| 電纜長(zhǎng)度 | 米（英尺） | ≤100（330） | ≤100（330） |
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