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主要用于觀察細(xì)小物體的形狀, 測(cè)量細(xì)小物體的大小, 由于配備了各種可變長(zhǎng)焦距的鏡頭, 可以觀察并記錄細(xì)小物體的變化情況, 放大倍數(shù)可達(dá)準(zhǔn)納米級(jí)，比如結(jié)晶過(guò)程, 高分子在電場(chǎng)下的鏈結(jié), 細(xì)胞的變化等。顯微測(cè)量系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體、液晶、石油，印染，醫(yī)藥，噴涂，選礦等行業(yè)的科研生產(chǎn)有非常重要的作用。另外根據(jù)客戶(hù)的需求可將光學(xué)系裝于流水線(xiàn)及機(jī)器中，用于生產(chǎn)監(jiān)控。