主要特性與技術指標
- 適用于 高 k/SOI 脈沖 IV 表征的*解決方案
- 精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測量
- 選通脈寬zui小值是 10 ns，上升和下降時間為 2 ns
- 1 µs 電流測量分辨率
- 在直流測量和脈沖測量之間輕松切換
- 支持的分析儀：B1500A、E5270B、E5260A、E5262A、E5263A、4155/56C 和 4155/56B
描述
脈沖 IV 參數(shù)測試逐漸成為進行半導體制程開發(fā)和半導體器件測試的一項常見要求。zui近幾年，在更良好制程不斷發(fā)展的推動下，用戶對精確脈沖 IV 測量的需求不斷增加。為了滿足這些需求，是德科技推出了多種脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案。它們提供更廣泛的脈寬、電壓/電流輸出和性能。
Keysight B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案的脈寬范圍是 10 ns 至 1 ms，非常適合對采用高 k 柵介質材料構成的 MOSFET 或在 SOI 晶圓上裝配的 MOSFET 進行表征。該脈沖 IV 解決方案允許您使用脈寬為 10 ns、上升和下降時間為 2 ns 的脈沖信號（速度非?？欤倚盘柕倪^沖和下沖非常低。
該解決方案由電纜、附件和軟件組成。如果您擁有其中一款是德科技脈沖發(fā)生器或示波器，您可以利用它們來降低整體成本。該解決方案集成了是德科技參數(shù)分析有或參數(shù)解決方案（B1500A、E5260A/E5270B 系列、4155C 4156C、4155B 和 4156B）。
化工儀器網