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    微分掃描光學(xué)顯微鏡的發(fā)展近來受到非常廣泛關(guān)注，它是基于比較樣品上鄰近兩點信息不同這一原則來探測樣品的.原來的掃描顯微鏡（SOM）在探測樣品時，即使樣品結(jié)構(gòu)沒有變化，也可能產(chǎn)生假信號，有時又可能丟失信息，這種系統(tǒng)的潛在能力沒有*發(fā)揮出來.而微分掃描顯微鏡，只有當(dāng)樣品上相鄰兩點在結(jié)構(gòu)上有所變化時才會有信號，這樣結(jié)構(gòu)上微小的變化能被探測，大大改進了成像效果并提高了分辨率.對樣品相鄰兩點上信息的比較，可采取不同方法.其中主要是從探測光束上取出相位的信息進行比較而給樣品成像，也有些是從探測光束上取出振幅信息進行比較.

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奧林巴斯顯微鏡

    外差光學(xué)顯微鏡用光電的共態(tài)抑制技術(shù)（而不是用振動誘發(fā)光的位相顫動）進行光的外差精密位相側(cè)量，它能分辨出的相位變化.它是用兩同心光束聚焦在樣品上，測出反射光束之間的相對位相差.這個無觸點的光學(xué)顯微鏡即能探測平滑高反射的表面，也可以探測粗糙的表面.

    光導(dǎo)纖維掃描微分干涉比較光學(xué)顯微鏡[16:不需要光學(xué)裝置，只需簡單的探測系統(tǒng).它借助于光導(dǎo)纖維，省去光路設(shè)計，而且系統(tǒng)很容易轉(zhuǎn)換成全光維表面聲波傳感器.

    相敏掃描顯微鏡可直接檢測樣品反射光的幅度和位相，因而能獲得復(fù)空I.7變量的傅里葉變換，能消除光學(xué)系統(tǒng)引起的像差的影響，它的深度分辨率優(yōu)于lOnm，對機械振動不敏感.

    微分振幅光學(xué)顯微鏡（DASOM）[1e）的工作原理是基于:在很小范圍內(nèi)正弦地移動光束焦點來探測樣品.在張華西的實驗中，He-Ne激光光束首先通過一個駐波聲光偏轉(zhuǎn)器，驅(qū)動頻率是1.7MHz，而產(chǎn)生照射光斑在物體表面很小范圍內(nèi)正弦移動.這樣，樣品表面任伺結(jié)構(gòu)變化如外形或反射率變化都會使反射光束產(chǎn)生一交流信號，從這個信號的強度上可以檢測出樣品表面及亞表面機械結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì).經(jīng)計算DASOM系統(tǒng)的信噪比比普通光學(xué)顯微鏡的信噪比高得多.