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產(chǎn)品簡介
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
詳細介紹
ST2253型數(shù)字式四探針測試儀
、概述
ST2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導(dǎo)體材料的電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進行測量。
儀器由主機、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果由主機數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機由配套軟件在PC機上操作，其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打??！
主機主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
基本技術(shù)參數(shù)
3.1測量范圍
電 阻率： 10-4～105Ω-cm
方塊電阻： 10-3～106Ω/□
電 阻：10-4～105Ω
3.2可測半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑： Φ15～100mm, 長（或高）度： ≤400mm
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數(shù)字電壓表：
⑴量程： 200mV
⑵誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
2.5數(shù)控恒流源
⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
⑶誤差：±0.5%讀數(shù)±2 字
2.6四探針測試探頭
⑴探針間距 1mm
（2）探針壓力: 0～2kg 可調(diào),zui大壓力約 2kg
（3）探針：碳化鎢，Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
2.8.外形尺寸：
主機 260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）