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四探針電阻率測(cè)試儀主要技術(shù)參數(shù)：

（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)量電阻率：0.1～29.9Ω*cm。
可測(cè)方塊電阻： 1～299Ω/口
zui大電阻測(cè)量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%
適合測(cè)量各種厚度的硅片，可測(cè)晶片直徑（zui大）
圓形Ф100mm ，方形230×220mm。
（2）恒流源：
輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，
誤差≤±0.5%。
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0.1～199.9mv
靈敏度：100μv
準(zhǔn)確度：0.2%（±2個(gè)字）
（4）供電電源：
AC：220V ±10%（保護(hù)隔離） 50/60HZ
功率2W
（5）四探針探頭；
A.材持：鎢鋼探針
b.間距：1±0.01mm
c.針尖絕緣電阻：≥100mΩ
d.機(jī)械游移率：≤1.0%
e.探針壓力：12-16牛頓（總力）
（6） 使用環(huán)境：
環(huán)境溫度：-40～50℃，
相對(duì)濕度：≤80%，無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射。