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化學真空系統(tǒng)方法是在封閉的真空系統(tǒng)中進行化學制備的方法。化學真空系統(tǒng)是由玻璃管或金屬管路把反應(yīng)器與機械泵和油擴散泵（或汞擴散泵）串聯(lián)而構(gòu)成。泵和反應(yīng)器之間連接一個大冷阱，以防止反應(yīng)器中的反應(yīng)物進入油擴散泵或油擴散泵中的油蒸氣進入反應(yīng)器。冷阱由盛有液氮的杜瓦瓶組成，保持77K的低溫。反應(yīng)器與真空系統(tǒng)的一段相連接，真空系統(tǒng)的另一段由一系列U形冷阱組成，能將不同揮發(fā)性的產(chǎn)物分別冷凝分離。

例如在真空系統(tǒng)中合成BCl3時，可令氣體先通過一個195K的冷阱（盛有干冰和丙酮混合物），凝聚除去silicon tetrachloride，然后通過一個161K的冷阱（盛有干冰和二硫化碳混合物），凝聚得到較純的BCl3。未被凝聚的HCl氣體后可在77K的冷阱（盛有液氮）中凝聚下來。本法適用于對空氣中的氧氣和水蒸氣十分敏感而又容易揮發(fā)的物質(zhì)，如Borane、SiH4、硼和硅的鹵化物、某些金屬有機化合物等的制備。

變頻化學真空系統(tǒng)配有可連續(xù)優(yōu)化的電子真空控制功能，通過準確且持續(xù)地調(diào)節(jié)隔膜泵的馬達轉(zhuǎn)速來實現(xiàn)真空控制。集成的真空控制器只需按一下按鈕，就可以實現(xiàn)全自動的蒸發(fā)控制。這個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，在實驗室使用非常便捷。泵根據(jù)需求調(diào)變馬達速度，降低了能量消耗和機械磨損，使得膜片等磨損件的壽命超長。該系統(tǒng)受歡迎的另一個原因是其運行非常安靜。變頻化學真空系統(tǒng)是以化學隔膜泵為基礎(chǔ)泵，其2mbar的極限真空非常適合用于高沸點溶劑。出氣口的廢氣冷凝器（EK）效率高，結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)近100%的溶劑回收效果。