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 　　真空泵隔膜泵具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕設(shè)計(jì)，這是由于它采用了很多氟化物材料，不僅對(duì)進(jìn)氣口到出氣口的化學(xué)腐蝕性氣體有很好的耐受性，而且對(duì)冷凝液有很好的耐受性。抽氣腔和驅(qū)動(dòng)部件所在的腔室是密封分離的，確保機(jī)械部件的使用壽命。zui重要的是，真空泵隔膜泵是無油泵，和油泵相比，大大減少了維護(hù)工作。同時(shí)，相對(duì)水噴射泵，隔膜泵節(jié)省了大量水資源，而相對(duì)旋片泵，它不會(huì)產(chǎn)生污染的廢棄泵油。